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怎樣讓離子束輔助激光加工技術？

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　　離子束刻蝕輔助飛秒激光加工技術。

　　基本原理是利用低能量的飛秒激光脈沖快速在材料表面誘導形成平滑的“種子”改性區，由于脈沖能量的沉積使得改性區具有更高的物理化學活性，從而具有更高的刻蝕速率。

　　隨后利用離子束刻蝕實現改性區的優先快速去除并利用離子轟擊方向對刻蝕速率的影響實現結構的成型與表面平滑。

　　實驗中驗證了該技術在石英玻璃、砷化鎵、碳化硅和金剛石材料上實現微透鏡陣列的制備，并展現了良好的光學成像和聚焦效果。

　　由于飛秒激光加工和離子束刻蝕對材料的無選擇性，使得其可以用于加工幾乎任何材料。

　　通過調節激光加工參數和刻蝕工藝實現了微透鏡形貌和參數的調控，其表面粗糙度僅有2.5 nm。

　　他們以微透鏡陣列的制備為例，驗證了該技術的原理及其在多種材料上的加工應用。

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